從20世紀(jì)中葉開(kāi)始，硅成了信息技術(shù)的關(guān)鍵材料，是目前應(yīng)用最多的半導(dǎo)體材料．請(qǐng)回答下列問(wèn)題：
（1）根據(jù)元素周期表可知，原子序數(shù)為6的碳原子和原子序數(shù)為14的硅原子最外層電子數(shù)均為4，則常溫下硅的化學(xué)性質(zhì)（填“活潑”或“不活潑”）．
（2）硅在自然界中含量比較豐富，主要以硅酸鹽和石英砂存在于地殼中，石英砂的主要成分是二氧化硅，請(qǐng)寫(xiě)出二氧化硅的化學(xué)式．
（3）制備硅半導(dǎo)體材料必須先得到高純硅，三氯甲硅烷（SiHCl₃）還原法是當(dāng)前制備高純硅的主要方法．生產(chǎn)過(guò)程示意如圖：

①整個(gè)制備過(guò)程必須達(dá)到無(wú)水無(wú)氧．在H₂還原SiHCl₃過(guò)程中若混入O₂，可能引起的后果是．
②在生產(chǎn)過(guò)程中物質(zhì)A可循環(huán)使用，A的化學(xué)式是；在生產(chǎn)過(guò)程中還有一種可循環(huán)使用的物質(zhì)是．

從20世紀(jì)中葉開(kāi)始，硅成了信息技術(shù)的關(guān)鍵材料，是目前應(yīng)用最多的半導(dǎo)體材料。請(qǐng)回答下列問(wèn)題：
(1) 地殼里各種元素的含量（質(zhì)量分?jǐn)?shù))如圖所示，其中表示硅元素的是             (填字母)。